Einführung in die Membranbox

Die Membrankapsel ist die Kernkomponente eines kapazitiven Drucksensors zur Erfassung von Druckänderungen. Es misst den Druck, indem es seine Kapazität aufgrund der Verformung ändert. Eine Vakuummembrankapsel ist das Standardsensorelement in einem kapazitiven Drucksensor vom Typ Membran-; Seine interne Vakuumumgebung ermöglicht es ihm, sensibel auf Änderungen des externen Luftdrucks zu reagieren.

Strukturell verwenden kapazitive Drucksensoren mit Siliziummembran eine Vakuummembrankapsel, die aus einem dünnen Film aus einkristallinem Silizium besteht. Der Druck wird durch Änderung der Kapazität durch Plattenverschiebung gemessen. Seit August 2023 verwenden automatische Wetterstationen in meinem Land weit verbreitet intelligente digitale Drucksensoren mit Siliziumkondensatoren als Sensorelement. Darüber hinaus fungiert die Membrankapsel als druckempfindliches Element in Differenzdrucktransmittern, wandelt Differenzdrucksignale in elektrische Standardsignale um und wird in Bereichen wie der Durchflussmessung und der Füllstandsüberwachung von Flüssigkeiten eingesetzt.